日本宣布开发出新技术，可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本

摘要： 日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻...

日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化，因此当前估计需要200亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。据了解，该大学将与企业合作，力争实现这种设备的日本国产化。（界面）